VICTREXPEEK聚合材料用于晶圆光

　　英国威格斯公司(Victrex plc)近日宣布，世界领先光罩全方位解决方案供货商——家登精密股份有限公司 (Gudeng Precision Industrial) 已采用VICTREX PEEK聚合材料作为其最新款150mm单光罩标准机械接口传送盒，简称光罩传送盒应用的主要组件材料。

　　透过将VICTREX PEEK聚合材料具高硬度、极少的颗粒产生量、高洁净度以及强ESD性能等特性用于与光罩的所有接触点上，此款专门设计的光罩传送盒，能有效地在生产、传送以及处理光罩过程中，减少产生任何颗粒或释气。

　　光罩传送盒应用的关键在于处理传送盒的过程中，包括打开与关上输送箱时，需减少或避免产生任何颗粒或释气。因此，用户必须仔细选择输送箱的材料。家登精密选择VICTREX PEEK聚合材料，是因为该材料具有硬度高、颗粒产生量极少、洁净度高及ESD性能强等特性。此外，这种聚合材料还具有卓越的耐化学腐蚀性、耐磨损性、耐水解性、非常优异的电介质强度及出色的耐辐射性能，因此能够满足、甚至超越该应用对关键材料的全部要求。特别是VICTREX PEEK的粒子脱落特性较其它竞争材料更为优越，而且具有极低的可萃取物特性或挥发特性。

　　目前利用这些性能的关键半导体应用包括CMP保持环、晶圆传输、晶圆存储及晶圆箱（FOUP）。