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山洋电气于2010年6月9日上市了滚珠丝杠一体型线性驱动五相步进马达，扩充了五相步进系统“SANMOTION F5”的产品阵容。用于将马达的旋转变换为直线运动的滚珠丝杠最开始就安装在马达机身中，实现了小型化（图）。新产品主要用于半导体制造装置、普通工业机械以及搬运设备等。

法兰尺寸有42mm和60mm两种，分为带制动器和不带制动器的产品，合计四种产品。在法兰尺寸为60mm的机型中，冲程长度为80mm，“属于业界最高水平”（山洋电气）。最大推力为450N，“在内置滚珠丝杠的该尺寸步进马达中，为业界最高水平”。

预计第一年四种机型的合计销量为400台。

图：线性驱动步进马达的工作示意图

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